市場監(jiān)管總局批準新建二維線紋基準裝置

近日，市場監(jiān)管總局批準新建二維線紋基準裝置，填補我國校準影像測量儀、光學顯微鏡等光學精密測量設備和高精度光刻機母版制造設備的二維線紋標準器的測量能力空白，核心技術實現(xiàn)完全自主可控。

二維線紋基準裝置測量范圍為320mm×320mm，最優(yōu)測量不確定度僅28nm，相當于頭發(fā)絲直徑的1/2500。該基準裝置主要特點是大范圍、微尺寸、多參量，可為二維尺寸、位置及形狀提供量值溯源，達到國際先進水平。該基準裝置有助于解決亞微米、納米級光刻機母版的二維線紋“測不準”的難題，為電子通信、軌道交通、航空航天、醫(yī)療設備等高端制造領域精密加工和測量設備提供技術支撐和保障。